中科院科研装备研制项目“晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备”通过验收

By admin in 技术中心 on 2019年9月22日

5月26日,中国科学院条件保障与财务局组织专家对中国科学院新疆理化技术研究所承担的中科院科研装备研制项目“晶片级器件辐照及辐射效应参数提取设备”进行了验收。

9月15日,由中国科学院新疆理化技术研究所承担的国家自然科学基金重点项目“空间用高效四结太阳电池器件及辐射加固方法研究”启动会在新疆理化所召开。

验收专家组现场考核了仪器设备的技术指标,认真听取了项目工作报告,经质询和讨论,专家组一致认为该设备同时实现了晶片级器件辐照试验、器件特性参数在线提取功能,在国内率先突破了晶片级器件加电偏置辐照技术,为器件辐射效应精确建模、商用代工线的抗辐射性能评估提供了有效的测试手段;研制的设备可适用不同种类器件的辐照,具有结构一体化、操作自动化的特点,全部技术指标均达到或优于预期目标。之前国内由于不具备适用于器件辐射效应提参建模的试验平台,无法在器件设计、流片阶段给出加固建议,评估抗辐射性能,一定程度上增加了研发成本,延长了生产周期。该设备突破了这一技术瓶颈,填补了该领域的国内空白,为晶片级器件辐照、提参提供试验条件,形成面向抗辐射器件研制全过程的辐射效应试验评估、提参建模共性技术服务平台,为元器件设计加固工艺的发展提供试验技术支撑。

会议由新疆理化所副所长崔旺诚主持。新疆理化所所长李晓代表研究所对专家的到来表示欢迎,同时对国家自然科学基金委、中科院及合作单位苏州纳米所的大力支持表示诚挚感谢。苏州纳米所党委书记刘佩华也希望以此重点项目合作为契机,深度促进两家单位的合作与交流。项目负责人艾尔肯在会上作了报告,介绍了项目的目标、内容、关键的技术问题及项目进度安排等。报告得到了专家的一致认可,也希望双方能借此项目探索出高效太阳电池的制备及抗辐射加固方法,为后续研究提供理论指导。

该设备已成功应用于中科院微电子研究所、中电集团44所、杭州电子科技大学、长光辰芯光电公司等单位的微纳MOS器件、CCD器件、CMOS图像传感器、半导体射频电路的辐射效应评估验证,获得了用户的高度认可,为国产抗辐射器件的研制与试验评估提供了有效的试验手段。

随后,专家组参观了辐射效应实验室。专家组成员对新疆理化所的条件保障给予充分肯定,并提出了建议。希望未来两家单位能各自发挥特长优势,在材料、器件制备及抗辐射加固技术、辐射损伤机理等方面进行更深入的研究,为抗辐射太阳电池与其他新型器件的研发及性能评估提供理论、方法和技术支撑。

“空间用高效四结太阳电池器件及辐射加固方法研究”项目针对目前四结结构太阳电池制备中的材料生长难题,基于耐辐照InP基太阳电池的设计制备,通过可控的高性能键合工艺将不同衬底生长的不同带隙能量的太阳电池结合,实现光电流匹配的高效宽光谱耐辐照GaInP/GaAs/InGaAsP/InGaAs四结太阳电池器件,揭示宽光谱太阳电池器件的辐射损伤机理,实现抗辐射加固。该项目的开展对于促进未来先进光电子技术在空间领域的应用具有重要意义。

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